精密lcr測(cè)試儀可以測(cè)量元件的電阻、電容、電感等參數(shù)，可以用于元器件的出、入廠檢驗(yàn)。測(cè)量信號(hào)頻率為75kHz~30MHz。阻抗測(cè)量基本準(zhǔn)確度0.1%。它由一臺(tái)主機(jī)和若干夾具組成，配上大電流源后還可以進(jìn)行電感的偏置電流特性測(cè)試。頻率合成技術(shù)和高穩(wěn)定時(shí)鐘源以保證所產(chǎn)生信號(hào)的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性。由頻率合成源輸出的信號(hào)加在輸入單元上，被測(cè)件置于輸入單元的輸入口。由輸入單元送出的兩路電壓信號(hào)V，和V，(它們含有被測(cè)件的幅度和相位信息)分別經(jīng)程控放大后，送入鑒相器進(jìn)行幅度和相位檢測(cè)，經(jīng)A/D變換器送入CPU并進(jìn)行校準(zhǔn)、補(bǔ)償、阻抗變換等處理，給出被測(cè)件的各個(gè)參數(shù)值。
 

　　精密lcr測(cè)試儀測(cè)量誤差的分析與處理：
 

　　(1)隨機(jī)誤差：多周期數(shù)據(jù)處理每通道每次采集1K個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)(取10個(gè)周期)，每次10個(gè)周期的數(shù)據(jù)一起處理，這樣等效于連續(xù)測(cè)量10次，然后取平均值作為測(cè)試結(jié)果。
 

　　(2)系統(tǒng)偏移的校正：
 

　　偏移量主要是由有源器件零漂和地阻抗引起的，其結(jié)果是在待測(cè)交流信號(hào)上疊加了直流分量。由于在整周期上，交流正弦信號(hào)的加權(quán)平均值是零，所以，將采集后的數(shù)據(jù)進(jìn)行加權(quán)平均處理，其結(jié)果就是直流分量。將采集的數(shù)據(jù)減去這個(gè)直流分量再做數(shù)據(jù)處理，可以提高測(cè)量精度。
 

　　(3)開路校準(zhǔn)和短路校準(zhǔn)：
 

　　LCR測(cè)量?jī)x器的測(cè)量端、測(cè)量饋線以及測(cè)量夾具總是存在殘余阻抗和殘余導(dǎo)納，這些殘余量對(duì)小電容、小電感或大電阻的測(cè)量會(huì)造成較大的誤差。引入自動(dòng)的開路校準(zhǔn)與短路校準(zhǔn)：先通過理論分析建立系統(tǒng)的誤差模型，求出誤差修正公式，然后，通過簡(jiǎn)單的“開路”，“短路”等校準(zhǔn)技術(shù)記錄誤差因子，程序利用修正公式和誤差因子自動(dòng)計(jì)算修正結(jié)果。